Optik des dynamischen optischen Scan-Systems: 1 Stück kleine Fokuslinse, 1–2 Stück Fokuslinse, Galvo-Spiegel. Die gesamte optische Linse bildet eine Funktion der Strahlaufweitung, Fokussierung und Strahlablenkung und des Scannens.
Der expandierende Teil ist eine negative Linse, d. h. eine kleine Fokussierlinse, die eine Strahlaufweitung und einen beweglichen Zoom ermöglicht, die Fokussierlinse besteht aus einer Gruppe positiver Linsen. Der Galvanometerspiegel ist ein Spiegel im Galvanometersystem.
(1) Optimierung des Linsendesigns: Optimales Verhältnis von Durchmesser zu Dicke
(2) Hohe Schadensschwelle der Linse: >30J/cm2 10ns
(3) Beschichtung mit extrem geringer Absorption, Absorptionsrate: <20 ppm
(4) Verhältnis Dicke zu Durchmesser des Galvanometers: 1:35
(5) Genauigkeit der Linsenoberfläche: <= λ/5
Nachobjektivlinse
| Max. Eintrittspupille (mm) | Optik 1 Durchmesser (mm) | Optik 2 Durchmesser (mm) | Optik 3 Durchmesser (mm) | Scanfeld (mm) | Freie Blende des Scanners (mm) | Wellenlänge |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600 x 600 800 x 800 | 30 | 10,6 um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600 x 1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600 x 600 800 x 800 | 30 | 1030-1090 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300 x 300 | 10 | 532 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300 x 300 | 10 | 355 nm |
Reflektorspiegel
| Teilebeschreibung | Durchmesser (mm) | Dicke (mm) | Material | Beschichtung |
| Siliziumreflektor | 25,4 | 3 | Silizium | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Siliziumreflektor | 30 | 4 | Silizium | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Faserreflektor | 25,4 | 6,35 | Quarzglas | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Faserreflektor | 30 | 5 | Quarzglas | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| Faserreflektor | 50 | 10 | Quarzglas | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektor | 25,4 | 6 | Quarzglas | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektor | 25,4 | 6,35 | Quarzglas | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektor | 30 | 5 | Quarzglas | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektor | 50 | 10 | Quarzglas | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektor | 25,4 | 6 | Quarzglas | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektor | 25,4 | 6,35 | Quarzglas | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektor | 25,4 | 10 | Quarzglas | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektor | 30 | 5 | Quarzglas | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
Galvo-Spiegel
| Teilebeschreibung | Max. Eintrittspupille (mm) | Material | Beschichtung | Wellenlänge |
| 55 mm L x 35 mm B x 3,5 mm T-X 62 mm L x 43 mm B x 3,5 mm T-Y | 30 | Silizium | MMR@10.6um | 10,6 um |
| 55 mm L x 35 mm B x 3,5 mm T-X 62 mm L x 43 mm B x 3,5 mm T-Y | 30 | Quarzglas | HR@1030-1090nm | 1030-1090 nm |
| 55 mm L x 35 mm B x 3,5 mm T-X 62 mm L x 43 mm B x 3,5 mm T-Y | 30 | Quarzglas | HR@532nm | 532 nm |
| 55 mm L x 35 mm B x 3,5 mm T-X 62 mm L x 43 mm B x 3,5 mm T-Y | 30 | Quarzglas | HR@355nm | 355 nm |
Schutzlinse
| Durchmesser (mm) | Dicke (mm) | Material | Beschichtung |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 x 64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
